苯基硅油又称聚甲基苯基硅氧烷（PFMS），是一类分子结构中的甲基被苯基不同程度取代的二甲基硅油。苯基含量可提高各种性能，例如抗氧化性、热稳定性、抗剪切性和光学透明度。其最突出的特性是在极端温度下的柔韧性。低粘度苯基硅油建议用作超高真空扩散泵油。